är tunna filmbeläggningar som används i många tekniska applikationer såsom optiska linser , magnetiska sensorer och halvledarteknik. Det finns många alternativ att sätta in en tunn film beläggning ; Dessa metoder omfattar termisk förångning , pulsad laser deposition och förstoftning. Sputtring är en mångsidig teknik och tillåter avsättning av tunna filmer med nanometerprecision. Sputtring är också i stånd att deponera metaller eller metalloxider på en rad olika underlag såsom plast materials.Things Du behöver
Radiofrekvens förstoftningssystem
Metalloxid spotta mål
Precision skruvmejsel
Visa fler Instruktioner
1
Öppna en förstoftningssystem . Avlägsna spotta pistol sköld och skruva loss ringen som håller din sputtering mål på plats . Placera metalloxidmåletpå spotta pistol och skruva fast målet ring med en precisionsskruvmejsel. Byt spotta pistol sköld . Placera plastsubstrat in i substrathållaren . Stäng förstoftningssystem .
2
Pump sputtring ner systemet till ett lämpligt tryck inställning t.ex. 10 ^ -6 millibar . Se till att slutaren är stängd så att substratet inte utsätts för en deponerings tills det behövs. Införa systemets argongas in i kammaren tills ett tryck på cirka 5 millibar nås .
3
Slå på radiofrekvens strömförsörjning . Vänta tills en synlig plasma kan ses inom förstoftningskammaren . Öppna slutaren . Plastsubstratet nu utsatt för en avsättning av metalloxidmolekyler . Stäng luckan när önskad tjocklek erhållits . Addera